IS-PM 貴金屬膜層專用設(shè)備-IS13-2

產(chǎn)品特點：
• 主要特點和技術(shù)優(yōu)勢：  
  ? 模塊化通用接口，直接兼容不同形式陰極靶材，允許直流脈沖、中頻、射頻工作模式；兼容性強
  ? 特殊設(shè)計的磁場及工藝氣路，有效提升靶材利用率以及長期工藝穩(wěn)定性
  ? 雙腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，既保障了工藝過程的穩(wěn)定性與一致性，又極大縮短了鍍膜前處理時間，提高生產(chǎn)效率；
  ? 自主設(shè)計的全自動智能化工藝操作系統(tǒng)，提供全面、便捷的工藝配方編輯及調(diào)用能力，配備實時工藝參數(shù)監(jiān)控系統(tǒng)，允許在線遠(yuǎn)程控制。